Ziel der Abteilung ist die Entwicklung von Technologien mit hervorragenden Hochfrequenzeigenschaften und von kostengünstigen Technologien für System-on-Chip-Lösungen sowie deren Fertigung in einer eigenen Pilotlinie für IHP-interne Projekte und für den weltweiten MPW- und Prototyping-Service.
Die Forschung verfolgt konsequent eine „More than Moore“ Strategie entsprechend der ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors). Schwerpunkt der Arbeiten sind damit nicht Aufgaben für skalierte CMOS Technologien, sondern die Erforschung und Entwicklung von Technologiemodulen, die CMOS Technologien in der Funktionalität deutlich erweitern.
Die strategischen Forschungsthemen sind THz-Bauelemente, Si Photonik und MEMS (Mikroelektromechanische Systeme), aber auch passive Komponenten mit hoher Güte und Sensorik. Dabei wird ein monolithischer Integrationsansatz, also die Integration der Module in die BiCMOS Basistechnologie, verfolgt. Dieser Ansatz ermöglicht die Kombination von Elektronik mit der Funktionalität der integrierten Module auf einem Chip. Anwendungen für derartige Technologien liegen insbesondere in Drahtlos- und Breitbandanwendungen sowie in der Sensorik.
Erhebliche Anstrengungen werden unternommen, um den MPW- und Prototyping-Service auf Basis der 0,25 µm bzw. 0,13 µm Technologien zu qualifizieren, zu erweitern und weltweit für Partner und Kunden zur Verfügung zu stellen.
Technologiekompetenz hat im IHP eine lange Tradition. Etwa die Hälfte der Mitarbeiter des IHP ist mit der Technologie verbunden, dazu gehört auch das Reinraum-Personal in einem 7 Tage/24 Stunden-Schichtsystem.
MPW & Prototyping
Email (M. Schultze)
